赫爾納供應英國Jandel四探針探頭電阻率測量

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英國Jandel四探針探頭產(chǎn)品介紹：

Jandel Engineering Limited是一家成立于1967年的英國私營企業(yè)，總部位于倫敦北部盧頓附近的Leighton Buzzard 。公司創(chuàng)始人John Clark曾在倫敦A&M Fell公司工作期間，與同事共同設計了款商用四探針探頭——“Fell"探頭 。Jandel成立初期的產(chǎn)品是電解式濕度計單元，至今仍是英國該配件的生產(chǎn)廠家 。1968年，公司進入半導體行業(yè)，開始設計和制造手動操作的半導體和薄膜測量系統(tǒng)以及電子式電流電壓表 。經(jīng)過五十余年的發(fā)展，Jandel已成為四探針測試儀和電阻率測量領(lǐng)域的技術(shù)型企業(yè)，其探頭產(chǎn)品由經(jīng)過至少六年培訓的經(jīng)驗豐富的工程師手工制造 。公司主要服務于半導體行業(yè)、大學實驗室及研究應用，提供高質(zhì)量的探頭探針和臺式電阻率測量設備 。

主要產(chǎn)品：

四探針探頭

可調(diào)節(jié)高度自動探頭 (AFPP)

手動探針臺

電阻率測量設備 (如RM3000)

電解濕度計電池

探針

主要型號：

AFPP (可調(diào)節(jié)高度自動探頭)

cartridge型四探針探頭

KLA兼容探頭

CDE ResMap兼容探頭

AIT兼容探頭

Napson兼容探頭

Veeco兼容探頭

Alessi兼容探頭

英國Jandel四探針探頭電阻率測量產(chǎn)品介紹：

四探針探頭 (Four-Point Probe Heads)

Jandel的四探針探頭是其核心產(chǎn)品，用于測量材料的薄層電阻和體電阻率 。

技術(shù)參數(shù) ：

探針間距：可選0.500mm、0.635mm、1.00mm、1.27mm、1.591mm（公差±10μm）。

探針排列：線性排列或方形（矩形）排列。

探針針尖材質(zhì)：標準為碳化鎢（直徑0.4mm），可選50%鋨合金。

針尖半徑曲率：可選12.5μm、25μm、40μm、100μm、150μm、200μm、300μm、500μm。

針尖壓力：每根探針的壓力可在10g至250g之間設定。

平面度：針尖平面度可達±0.025mm或更好。

絕緣電阻：在500V電壓下，兩針之間的電阻高達1013Ω。

導向結(jié)構(gòu)：上下導向裝置均采用寶石軸承，確保探針平滑垂直移動 。

工作原理：四探針技術(shù)基于四點接觸測量原理。外側(cè)兩個探針通以恒定電流，內(nèi)側(cè)兩個探針測量電壓，通過電壓與電流的比值結(jié)合樣品幾何修正系數(shù)，計算出材料的電阻率或薄層電阻。

AFPP (可調(diào)節(jié)高度自動探頭)

AFPP是一款專為四點探針測量設計的自動Z軸運動裝置，可與探針臺配合使用 。

技術(shù)參數(shù) ：

可測晶片直徑：≤300mm。

可測樣品厚度：≤250mm（可定制更高）。

控制方式：具有樣品接觸傳感器，可實現(xiàn)自動停止；支持手動和遠程控制。

電源：可使用獨立電源適配器，或通過Jandel RM3000電阻率測量儀單線連接供電和控制。

系統(tǒng)組成：包含測試臺、AFPP主機、可調(diào)節(jié)高度軸桿、四探針探頭及連接電纜。

工作原理：AFPP通過電機驅(qū)動探針頭自動向下移動，當探針接觸到樣品表面時，集成的傳感器會檢測到接觸并自動停止，從而保護探針和樣品，并實現(xiàn)可重復的測量高度。

cartridge型四探針探頭（兼容CDE系統(tǒng)）

這是一款專門設計用于與CDE (Control Data Corporation) 系統(tǒng)兼容的探頭，具有6個連接通道 。

技術(shù)參數(shù)：與標準四探針探頭基本一致，但設計上與KLA/Tencor/Prometrix等工具不直接替換，需注意區(qū)分使用 。

工作原理：其電氣連接方式和機械接口經(jīng)過特別設計，確保能夠與CDE ResMap等特定型號的電阻率測試儀精確匹配，實現(xiàn)即插即用的測量。

優(yōu)勢特點

制造精度：所有探頭在出廠前均經(jīng)過視頻檢測系統(tǒng)和光學干涉儀檢驗，以驗證針尖半徑曲率、間距和平面度的規(guī)范 。彈簧負載通過電子測力計校準，確保每根探針的壓力符合標準 。

材料選擇：探針針尖采用實心碳化鎢制成，保證了使用的耐久性和精度 。根據(jù)應用需求，還可選用50%鋨合金材質(zhì) 。

導向結(jié)構(gòu)：探針內(nèi)部使用寶石作為上下導向軸承，這種設計使探針在伸縮時平滑順暢，減少了摩擦和側(cè)向力，提高了測量的穩(wěn)定性和探針壽命 。

高絕緣性能：采用特氟龍絕緣材料，使得探針之間的漏電電流極低（兩針間電阻在500V時可達1013Ω），適合測量高阻材料 。

廣泛的定制選項：針對不同材料和測量需求，提供多種針尖半徑、壓力、間距和針頭材質(zhì)的組合 。同時，生產(chǎn)多種形狀的探頭以適配不同品牌（如KLA、CDE、Napson等）的現(xiàn)有設備 。

應用領(lǐng)域

半導體行業(yè)：用于測量硅晶圓、外延層、擴散層、離子注入層等材料的薄層電阻和電阻率，是半導體工藝監(jiān)控和質(zhì)量控制的重要工具 。

大學與研究實驗室：用于材料科學研究中測量薄膜、導電涂層、金屬、半導體材料的基本電學性質(zhì) 。

薄膜與涂層工業(yè)：測量太陽能電池薄膜、平板顯示器、光學涂層、導電聚合物等的薄層電阻均勻性 。

材料測試：評估塊狀材料（如硅錠、鍺錠）的體電阻率，以及分析材料在不同條件下的電學性能變化 。

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